MEMS-komponentti lienee useimmille jo tuttu, eli mikrosähkömekaaninen järjestelmä. Siis niitä komponentteja, joita vaikkapa entinen VTI kehittää Kehä III:n varrella Muratan nimen alla. Mutta mikä ihme on MOMS? Belgialaisessa mikroelektroniikan tutkimuskeskus IMECissä on kehitetty painetta mittaava MOMS-anturi.
Lyhenne tulee sanoista ”micro-optomechanical system” eli mikro-optomekaaninen järjestelmä. Uudenlaiseen rakenteeseen perustuva anturi mittaa painetta erittäin tarkasti ja esimerkiksi EMI-häiriöille immuunina.
Paineantureilla mitataan korkeutta tai syvyyttä, tai esimerkiksi veren virtaavuutta suonissa. Tämä tapahtuu tyypillisesti MEMS-pohjaisilla antureilla tai optiseen kuituun perustuvilla tekniikoilla. Näissä molemmissa on sekä etunsa että haittapuolensa.
IMECIn mukaan MOMS-paineanturi yhdistää näiden kahden tekniikan edut eli MEMS-komponenttien hyvän suorituskyvyn ja pienen koon, sekä kuitujen sopimisen hankaliin olosuhteisiin. Tuloksena on MEMS-komponenttien tavoin painetta tarkasti erittäin laajalla skaalalla mittaava laite, joka ei häiriinny EMI-säteilystä.
IMECin mittausten mukaan MOMS-anturi mittaa painetta alle 1Pa:n tarkkuudella skaalalla, joka kattaa helposti 100 kP:n alueen.
Uusi anturi sopinee erityisen hyvin moniin lääketieteellisen mittauksiin. IMEC kertookin toivovansa yhteydenottoja alan yrityksiltä uusien innovatiivisten mittauslaitteiden kehittämiseksi.






















Virtaamamittaus on monissa laitteissa kriittinen mutta usein ongelmallinen toiminto. Perinteiset mekaaniset anturit kuluvat ja jäävät sokeiksi pienille virtausnopeuksille. Ultraäänitekniikkaan perustuvat valmiit moduulit tarjoavat nyt tarkan, huoltovapaan ja helposti integroitavan vaihtoehdon niin kuluttaja- kuin teollisuussovelluksiin.